🔧 1. 产品定位与技术优势

• 行业标准级真空机器人：MagnaTran 系列专为半导体制造、精密电子等高端行业的真空环境设计，主打高可靠性和超洁净性能，满足严苛工艺环境（如晶圆传输）的需求。
• MagnaTran70 的潜在特性：
  • 高精度运动控制：适用于对定位精度要求极高的场景（如纳米级制造），确保传输过程无振动、无污染。
  • 真空兼容性：可在高真空（UHV）或极端真空条件下稳定运行，减少颗粒物产生，保障工艺洁净度。
  • 模块化设计：支持快速集成到客户现有系统（如真空腔体或自动化产线），降低部署成本。

⚙️ 2. 核心价值与客户收益

• 提升生产效率：通过高速、稳定的晶圆/基板传输，显著缩短生产周期，提高设备利用率（如应用于刻蚀、沉积设备）。
• 降低拥有成本（CoO）：
  • 长寿命与低维护：采用耐用材料和密封技术，减少故障停机时间和维护频率。
  • 能耗优化：高效动力系统设计，降低长期运行成本。

🌐 3. 应用场景与系统集成

• 典型场景：半导体前端制造（晶圆厂）、光伏面板生产、真空镀膜设备等。
• 协同解决方案：常与 Brooks 其他产品组合部署，例如：
  • Marathon® 真空系统：提供交钥匙式真空传输解决方案。
  • Imagine® 装载端口：实现晶圆载具（FOUP）与设备的无缝对接。